Electron-Beam Lithography of Microbowtie Structures for Next Generation Optical Probe

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題名:	Electron-Beam Lithography of Microbowtie Structures for Next Generation Optical Probe
作者:	Tseng, Ampere A. Chen, C. D. Wu, C. S. Diaz, Rodolfo E. Watts, Michael E.
公開日期:	2002
關聯:	JOURNAL OF MICROLITHOGRAPHY MICROFABRICATION AND MICROSYSTEMS1, 123-135
URI:	http://ir.sinica.edu.tw/handle/201000000A/46681
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