Milling yield estimation in focused ion beam milling of two-layer substrates

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題名:	Milling yield estimation in focused ion beam milling of two-layer substrates
作者:	Tseng, Ampere A Insua, Ivan A Park, Jong-Seung Chen, Chii D
公開日期:	2005
關聯:	JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING15, 20
URI:	http://ir.sinica.edu.tw/handle/201000000A/46674
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