Deposition of AlGaN films on (111) Si substrates and optimization of GaN

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題名:	Deposition of AlGaN films on (111) Si substrates and optimization of GaN
作者:	Wang, Cheng-Liang Gong, Jyh-Rong Liao, Wei-Tsai Lin, Chung-Kwei Lin, Tai-Yuan
公開日期:	2005
關聯:	Thin Solid Films493, 135
URI:	http://ir.sinica.edu.tw/handle/201000000A/46583
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