http://ir.sinica.edu.tw/handle/201000000A/43823
題名: | Morphology control of silicon nanotips fabricated by electron cyclotron resonance plasma etching | 作者: | Hsu, C. H. Huang, Y. F. Chen, L. C. Chattopadhyaya, S. Chen, K. H. Lo, H. C. Chen, C. F. |
公開日期: | 2006 | 關聯: | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 24,308-311 | URI: | http://ir.sinica.edu.tw/handle/201000000A/43823 | ISSN: | http://gateway.isiknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Drexel&SrcApp=hagerty_opac&KeyRecord=1071-1023&DestApp=JCR&RQ=IF_CAT_BOXPLOT |
顯示於: | 原子與分子科學研究所 |
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