Self-aligned cantilever positioning for on-substrate measurements using DVD pickup head

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題名:	Self-aligned cantilever positioning for on-substrate measurements using DVD pickup head
作者:	Bosco, F. G. Hwu, E. -T. Keller, S. Greve, A. Boisen, A.
公開日期:	2010-03-01
關聯:	MICROELECTRONIC ENGINEERING87,708-711
URI:	http://ir.sinica.edu.tw/handle/201000000A/46399
URL:	http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0167931709009071
顯示於：	物理研究所

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