Deposition of silicon carbon nitride films by ion beam sputtering

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題名:	Deposition of silicon carbon nitride films by ion beam sputtering
作者:	Wu, J. J. Wu, C. T. Liao, Y. C. Lu, T. R. Chen, L. C. Chen, K. H. Hwa, L. G. Kuo, C. T. Ling, K. J.
公開日期:	1999
關聯:	THIN SOLID FILMS 355, 417-422
URI:	http://ir.sinica.edu.tw/handle/201000000A/44047
ISSN:	http://gateway.isiknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Drexel&SrcApp=hagerty_opac&KeyRecord=0040-6090&DestApp=JCR&RQ=IF_CAT_BOXPLOT
顯示於：	原子與分子科學研究所

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